
์ผ์ฑ์ ์ ๊น์ง ์ค์ ์ ์๋ถ์ฅๆ ช๋ ๋ค์ฉโฆ ๋ธ์ด์ ยทํ ์ค 6%๋โ
์ฌ์ง=๋ด์ค1 ์ผ์ฑ์ ์๊ฐ ์์์ ํ์ฉ ๋ฐ์ด ๋๋ 3๋ถ๊ธฐ ์ ์ ์ค์ ์ ๋ด๋์, ์ผ์ฑ์ ์์ ์์ฌยท๋ถํยท์ฅ๋น๋ฅผ ๊ณต๊ธํ๋ ํ๋ ฅ์ ์ฒด๋ค์ ์ฃผ๊ฐ๋ ๋ค์ฉ์ด๊ณ ์๋ค. 14์ผ ์ค์ 9์32๋ถ ํ์ฌ ๋ธ์ด์ ์ ์ ์ผ ๋๋น 1450์(6.95%) ์ค๋ฅธ 2๋ง2300์์ ๊ฑฐ๋๋๊ณ ์๋ค. ์ด ํ์ฌ๋ ๋ฐ๋์ฒด์ฉ ํ๋๋ง์คํฌ ์์ฌ๋ฅผ ์ฌ์กฐํด ์ผ์ฑ์ ์์ SKํ์ด๋์ค ๋ฑ์ ๊ณต๊ธํ๋ ์์ฌ์ ์ฒด๋ค. ํ๋๋ง์คํฌ๋ ์จ์ดํผ์ ๋ ธ๊ดยท์๊ฐยท์ฆ์ฐฉ์ ํตํด ํ๋ก๋ฅผ ์๊ธฐ๋ ๊ณผ์ ์์ ํจํด์ด ๋ฌด๋์ง์ง ์๋๋ก ์ง์ผ์ฃผ๋ ๋ณดํธ๋ง ์ญํ ์ ํ๋ ์์ฌ๋ค. ์์ ์ ์ผ๋ณธ์ฐ ์์กด๋๊ฐ ๋์์ง๋ง, ๋ธ์ด์ ๋ฑ์ด ๊ตญ์ฐํ์ ์ฑ๊ณตํ๋ค. ๋ฐ๋์ฒด ํ๋ก์ ์ ์ฐ๋ง์ ์ฆ์ฐฉ์ํค๋ PECVD ์ฅ๋น ๋ฑ์ ๋ง๋ค์ด ์ผ์ฑ์ ์์ SKํ์ด๋์ค์ ๊ณต๊ธํ๋ ํ ์ค๋ 6.03% ๊ธ๋ฑ ์ค์ด๋ค. ํ ์ค๋ ๋ฐ๋์ฒด ์ฅ๋น ๊ตญ์ฐํ๋ฅผ ์ถ์งํ ์ด๊ธฐ๋ถํฐ ์ผ์ฑ์ ์ ๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ ์ฌ์ ๋ถ์ ๊ฐ๋ณํ ํ๋ ฅ๊ด๊ณ๋ฅผ ์ ์งํด์จ ๊ฒ์ผ๋ก ์ ํด์ง๋ค. ์ด์ธ์๋ โณ๋ ์ด์ ์์ฉ์ฅ๋น ๋ฐ ๊ธฐ๊ธฐ๋ฅผ ๋ง๋๋ ์ด์คํ ํฌ๋์ค(3.47%) โณ๋ฐ๋์ฒด์ฉ ํ์ฐยท์ค๋ฆฌ์ฝ ๋ถํ ์ ์กฐ์ ์ฒด์ธ ํฐ์จ์ผ์ด(2.01%) โณ๋ฐ๋ง ํ์ฑ ์ฅ๋น๋ฅผ ๋ง๋๋ ์ ์งํ ํฌ(2.04%) โณ๋ฐ๋์ฒด ๋ถํ์ ์ฝํ ยท์ธ์ ์๋น์ค๋ฅผ ์ผ์ฑ์ ์์ ์ ๊ณตํ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ด ๊ฑฐ๋ก ๋๋ ์ฝ๋ฏธ์ฝ(2.49%) โณ๋ฐ๋์ฒดยท๋์คํ๋ ์ด ๊ณต์ ์ฉ ํํ ์์ฌ๋ฅผ ์์ฐํ๋ ์๋ธ๋ ์ธ(1.2%) ๋ฑ๋ ๊ฐ์ธ๋ค. ์ผ์ฑ์ ์์ โ๊น์ง ์ค์ โ ๋๋ถ์ด๋ค. ์ผ์ฑ์ ์๋ 3๋ถ๊ธฐ ๋งค์ถ 86์กฐ์, ์์ ์ด์ต 12์กฐ1000์ต์์ ์ ์ ์ค์ ์ ๊ธฐ๋กํ๋ค๊ณ ์ด๋ ๊ฐ์ฅ ์ง์ ๊ณต์ํ๋ค. ์ค์ ๋ฐํ ์ง์ ์ํ์ค๊ฐ์ด๋์ ์ง๊ณ๋ ์์ ์ด์ต ์ปจ์ผ์์ค(์ฆ๊ถ์ฌ ์ถ์ ์น ํ๊ท )








